[! tip] 如果想了解物理基础的,可以看《半导体物理与器件》的前三章,固体晶格结构,量子力学初步,固体量子理论初步。

[! warning] 这一章节的内容可以看作为综述,牵扯了很多,但是又讲得很乱。很多东西没有推导,只有结论。

其次就是没有任何例题!最好看看教材,然后做做教材课后的作业。

[! note] 这一部分的内容作为内容补充,在期末考试中基本没考。

[! reference] “第3章器件” (拉贝艾, 2010, p. 49)

1. PN 结和二极管方程

PN 结

PN 结是一种由 P 型半导体和 N 型半导体材料结合而成的结构。

在 PN 结中,P 型半导体具有正电荷的载流子,称为空穴(holes),而 N 型半导体具有负电荷的载流子,称为电子(electrons)。

在 pn 结相接处,会形成一个耗尽层。pn 结两边的耗尽区宽度为,

耗尽层宽度关系

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总的耗尽层宽度为,

耗尽层总宽度定义式

为 n 区耗尽区宽度; 为 p 区耗尽区宽度; 为相对介电常数; 为绝对介电常数; 为内建电势差; 为电子电荷量; 为受主原子掺杂浓度; 为施主原子掺杂浓度

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正偏电压下 pn 结 n 区内少子空穴浓度计算如下,

正偏电压下 pn 结 n 区内少子空穴浓度计算式

为 n 区热平衡少子空穴浓度; 为 PN 结上的外加偏压

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正偏电压下 pn 结 p 区内少子电子浓度计算式

正偏电压下 pn 结 p 区内少子电子浓度计算式

为 p 区热平衡少子电子浓度; 为 PN 结上的外加偏压

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对于一个理想的 pn 结,我们通常用简单的开关-电阻模型来近似。

理想二极管模型

理想二极管只有两种模式:导通和截止。导通时,二极管表现得像恒定电阻;截止时,二极管表现得像断开的开关。

理想 pn 结电流计算式

为施加在结上的电压; 为热电压(300K 下为 26mV); 为二极管的反向饱和电流。

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2. MOS 晶体管

以下讨论的均为理想长沟道 NMOS 器件。

2.1. NMOS 结构

NMOS 结构

NMOS 由栅极(gate)、源极(source)、漏极(drain)和 MOSFET 衬底(substrate、body)构成。以上部分组成了两个 pn 结(源极-衬底结和漏极衬底结),但它们始终保持反向偏压。栅极和衬底之间有氧化层隔断。

栅极

栅极,顾名思义,是一个起控制作用的部分。在栅极不走电流,因此 NMOS 也被称作绝缘栅场效应管。栅极、氧化物层以及衬底构成了类似电容器的结构,叫 MOS 电容器。

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源极

在 NMOS 中,源极和漏极的构成完全相同,使他们形成区别的是在结构上设计的电路。在栅极施加电压的时候,电子从源极向漏极传导以形成电流。

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漏极

在 NMOS 导通的时候,电流从漏极传输到源极,漏极是电子离开 NMOS 的地方

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MOSFET 衬底

用以形成沟道和 PN 结的部分。通常接地,电压为 0V。

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除此之外,还有 形成的用于隔离各个 MOSFET 的结构。

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2.2. 理想 NMOS 工作模式

理想 NMOS 的工作模式

NMOS 一般有三种工作状态,只由 两处电压进行调控。 调控 NMOS 的开关状态, 则是调控 NMOS 的工作区间。在 NMOS 工作时,衬底通常接地,源极保持和衬底一样的电位(以避免体效应)。

1. 截止

在栅极电压为 0 的时候,漏和源相当于两个阴极相连的二极管,这样使得即使施加漏源电压 ,电流也无法从漏到源导通。此时形成了约 的电阻。

2. 导通

当在栅极施加的电压满足 的时候,NMOS 导通。NMOS 导通的过程总结为,先耗尽再反型

2.1. 形成耗尽层

我们将源极和漏极接地,并在栅极上施加一个正电压。由于源极接地,栅极电压实际上出现在栅极和源极(或漏极,以源级为例)之间,表示为

栅极上的正电压首先导致自由空穴(带正电)从栅极下方的衬底区域(沟道区域)被排斥。这些空穴被向下推入衬底,形成一个新的不含自由载流子的耗尽层

2.2. 形成反型层

栅源电压除了对衬底中的空穴有排斥作用,对于源级和漏极中的自由电子同样有吸引作用。当栅源电压大于阈值电压 时,就会形成反型层,使得源级和漏极之间导通。阈值电压 就是形成沟道的最小栅源电压

形成沟道之后,栅极和沟道就共同构成了一个以氧化层为介质的平行板电容。我们用氧化物电容 来描述这个平行板电容器的单位栅极面积的电容。

过载电压(有效电压)就是栅源电压和阈值电压之间的差值。

过载电压

为栅源电压; 为阈值电压

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3. 施加漏源电压

在漏源电压为 0 的时候,可以看出沟道处处电压为 0。并且施加于氧化层介质上的电压处处等同于栅源电压

3.1. 线性区

NMOS 线性区

当有 时,说明 NMOS 进入线性区。并且有 ,说明 NMOS 并未进入饱和区。

当我们施加较小的漏源电压时,自由电子从源级向漏极运动,形成了 漏极电流

长沟道 MOS 器件线性区漏极电流计算式

为工艺跨导参数

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NMOS 线性区漏极电流计算式推导

由此我们也知道了漏源电阻

漏源电阻计算式

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3.2. 饱和区

NMOS 饱和区

当满足 并且 的时候,NMOS 沟道开始夹断进入饱和区。此时 I-V 关系变为非线性关系,并且由于在感应形成的沟道上的电压差(从夹断点到源)保持在 (也就是夹断之后,),由此电流保持为常数。

对于长沟道器件而言,当通道开始夹断的时候,漏极电流还需要考虑沟道长度调制效应对沟道的影响。

NMOS 饱和区的漏极电流计算式

为沟道长度调制系数。

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2.2.1. PMOS

PMOS

PMOS 和 NMOS 类似,但是电压是相反的。衬底为高电压 。当栅极为低电压的时候,晶体管开启;当栅极为高电压的时候,晶体管关闭。

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2.3. MOS 晶体管类型和符号

2.4. NMOS 的简单开关模型

MOS 的简单开关模型

在数字电路中,我们常用简单的开关模型去分析 MOS 管。简单开关模型意味着,MOS 管导通的时候具有有限导通电阻,关断的时候具有无限关断电阻。

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2.5. 阈值电压

阈电压是第一个需要关注的点,阈电压的存在使得 NMOS 能处于开和关两个状态。栅源电压越大,下方吸引的电子越多,形成的沟道就越深。

阈值电压

随着栅极电压到达两倍 p 型硅衬底的费米势时,耗尽层达到最宽。沟道并由此开始反型。此时的 的值称为阈值电压 ,有计算式,

阈值电压计算式

零偏置阈值电压体效应系数阈值表面电压 为源衬电势差。

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一般说 都是使用的经验参数,即 时的阈值电压,但是这里也可以给出一个不精确的解析表达式,

零偏置阈值电压计算式

为金属半导体功函数差; 为 p 衬底的费米势; 为受体离子浓度; 纯硅中的本征载流子浓度; 为任意反偏电压下,源至衬底电压 为零时,空间电荷层中的电荷量; 为植入电荷; 为固定正电荷; 为单位面积栅极氧化电容

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栅压进一步变化不会改变耗尽层和栅氧层下面的薄反型层的厚度,而是会增加薄反型层中的电子浓度!

这里,p 型硅衬底费米势为,

p 型硅衬底费米势计算式

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2.6. 体效应

但是阈值电压并非一成不变的,其受到很多外在因素的影响,其中之一就是体效应。

体效应

体效应是指,当 NMOS 源端电势大于衬底电势(  )时,栅下面的表面层中将有更多的空穴被吸收到衬底上 (因为此时相对而言衬底更负),留下更多不能移动的负离子(负电中心),使得耗尽层展宽。阈值电压升高

体效应系数

体效应系数

为氧化层厚度; 为氧化层介电常数; 电子电荷绝对值; 硅的介电常数; 衬底区域的杂志浓度; 氧化层的电容密度; 对于 NMOS 而言为正,对 PMOS 而言为负。

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阈值表面电压

阈值表面电压计算式

p 型硅衬底费米势

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阈值表面电压就是刚刚开始耗尽层刚刚开始反型的时候的栅极电压。

体效应修正的阈值电压

阈值电压计算式

零偏置阈值电压体效应系数阈值表面电压 为源衬电势差。

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2.7. 沟道夹断

当通道形成之后,我们需要在通道的两端,即漏源之间产生电压差以驱动电子的移动。但是 的增加会导致漏和衬底之间产生耗尽层,这个耗尽层会挤压通道,使得通道在靠近漏的一段更小。

这里 可以形象地理解为形成的通道宽度, 则是漏和衬底之间形成的耗尽层厚度。耗尽层厚度大于等于通道宽度的时候,就会形成通道夹断。

理论上沟道已经夹断,但是夹断点非常薄弱。电子冲出夹断点后,同样也会被漏极收集。

漏极电压越高,夹断点越后退,造成电子越难穿越,因此饱和区电流不再随电压增大而线性增大。因此夹断点之后进入饱和区。

如果漏极的电压继续上升,它的空间电荷区持续扩张达到源极,那么源极的电子就会不受沟道和栅压的控制,直接经过空间电荷区高速到达漏极,这就是源漏直接穿通了,这时 MOS 管也就直接损坏了

2.8. NMOS 线性区

NMOS 线性区漏极电流计算式推导

如上图,源极接地,栅极给电压 ,漏极给电压 。沿着 x,沟道上的电压从栅极到源极线性减小到 0,于是在 处有电压 。在这一点,栅极到沟道的电压就是 。假设其大于阈值电压,于是有这一点的电荷为,

其中,栅氧单位面积电容

栅氧单位面积电容计算式

为栅氧的介电常数; 为栅氧的厚度。

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电流是载流子漂移速度 和所存在电荷的积。 是垂直于电流方向上的沟道有效宽度。有,

[! question] 这里为什么只考虑了沟道宽度? 因为反型层实际上非常薄,所以我们可以将其看作薄薄的一层电子来计算。

有电子漂移速度和场强的关系,

电子漂移速度

为电子迁移率; 为沿着电子漂移方向的电场强。

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再将以上公式代入电流定义式,并沿着沟道有效长度 积分可得,

从这里可以导出一个工艺跨导参数,

工艺跨导参数计算式

  • 迁移率
  • 为栅氧的单位面积电容;
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NMOS 线性区

当有 时,说明 NMOS 进入线性区。并且有 ,说明 NMOS 并未进入饱和区。

当我们施加较小的漏源电压时,自由电子从源级向漏极运动,形成了 漏极电流

长沟道 MOS 器件线性区漏极电流计算式

为工艺跨导参数

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NMOS 线性区漏极电流计算式推导

由此我们也知道了漏源电阻

漏源电阻计算式

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2.9. NMOS 饱和区

NMOS 饱和区

当满足 并且 的时候,NMOS 沟道开始夹断进入饱和区。此时 I-V 关系变为非线性关系,并且由于在感应形成的沟道上的电压差(从夹断点到源)保持在 (也就是夹断之后,),由此电流保持为常数。

对于长沟道器件而言,当通道开始夹断的时候,漏极电流还需要考虑沟道长度调制效应对沟道的影响。

NMOS 饱和区的漏极电流计算式

为沟道长度调制系数。

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