如上图,源极接地,栅极给电压 ,漏极给电压 。沿着 x,沟道上的电压从栅极到源极线性减小到 0,于是在 处有电压 。在这一点,栅极到沟道的电压就是 。假设其大于阈值电压,于是有这一点的电荷为,

其中,栅氧单位面积电容

栅氧单位面积电容计算式

为栅氧的介电常数; 为栅氧的厚度。

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电流是载流子漂移速度 和所存在电荷的积。 是垂直于电流方向上的沟道有效宽度。有,

[! question] 这里为什么只考虑了沟道宽度? 因为反型层实际上非常薄,所以我们可以将其看作薄薄的一层电子来计算。

有电子漂移速度和场强的关系,

电子漂移速度

为电子迁移率; 为沿着电子漂移方向的电场强。

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再将以上公式代入电流定义式,并沿着沟道有效长度 积分可得,

从这里可以导出一个工艺跨导参数,

工艺跨导参数计算式

  • 迁移率
  • 为栅氧的单位面积电容;
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