当栅极电压略小于阈值电压（），但是没有完全使得沟道反相的时候，仍然有电流流过，这就是亚阈值漏电。 源极和漏极是反向偏置二极管，也会经历结泄漏到衬底或阱中。进入栅极的电流 理想情况下为 0。然而，随着栅极氧化物的厚度减小到只有少量原子层，电子会隧道穿过栅极，从而产生一些栅极电流。