塑料掩膜 低价格 低分辨率 () 稳定性差 易于操作 波长 玻璃 (苏打石灰) 掩模 价格/质量比好 分辨率高 ( 2μm) 稳定性好 易清洗但易破损 波长 350 nm 石英掩膜 价格昂贵 分辨率高 ( 2μm) 非常稳定 易清洗但易破损 波长 180 海里 掩模最常用石英制作，石英是二氧化硅二氧化硅，(也称为二氧化硅) 覆盖有图案的铬层。