光学掩模是一种不透明的板或薄膜,其透明区域允许光线照出特定的图案。它通常用于光刻工艺,但也被广泛的工业和技术用于许多其他应用。不同类型的掩码存在不同的应用,即根据其所需的分辨率来进行选择。

光刻掩模类型