平板印刷技术是指制造微小结构的一种技术，它是微纳加工技术中的关键步骤之一。 可以利用光、电子束或原子束等方式将图案转移到光刻胶或薄膜上，然后进行化学或物理加工，最终制造出微小结构。 其包括光刻技术（SUSS MA6）、纳米压印光刻技术（EVG 520）、电子束曝光技术（Raith EBPG 5200）