集成电路中的材料和单晶硅的制备

集成电路工艺

集成电路工艺在高度抽象之后，主要有三个步骤：

• 加材料
• 图形化
• 去除材料

集成电路中的材料

集成电路是建立在硅上面的，使用的材料种类包含单晶材料（用单晶硅做基底）、多晶材料（栅极）、非晶材料（栅介质层）。

附录

笔记来源