溅射的优缺点

优点

• 适用于合金
• 薄膜附着力好
• 金属 (直流，射频) 以及绝缘体 (射频)
• 通过控制溅射流和溅射时间，能精确的控制溅射膜的厚度

缺点

• 射频溅射技术复杂
• 台阶覆盖性差