金属有机化学气相沉积（MOCVD）是一种化学气相沉积技术，用于制备金属化合物薄膜。它是一种在高温下使用有机金属前体和气态反应物质的化学反应，以沉积金属化合物薄膜的技术。 MOCVD 的基本反应动力学 前体