在 MOCVD 中，前体是指用于生长薄膜的化学气相沉积前驱体，例如金属有机化合物和气态化合物等。这些前体在 MOCVD 过程中被输送到反应室中，并分解成原子和分子，最终形成所需的材料。 MOCVD 前体的特性