负载效应

概念

所谓负载效应，是局部刻蚀气体的消耗大于供给引起的刻蚀速率下降或分布不均的效应。

分类

负载效应（loadingeffect）可以分为 3 种：

• 宏观负载效应（macroloading）
• 微负载效应（microloading）
• 与刻蚀深宽比相关的负载效应（aspect ratio dependent etching，ARDE）。

附录

笔记来源