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Part 2 清洁、抛光、计量分析与高 k 介质
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两点最小可分辨距离
两点最小可分辨距离
2025年4月21日
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为自由空间波长;
为浸没介质的折射率;
为透镜在物体处所张半角;
为数值孔径。
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《Part 2 清洁、抛光、计量分析与高 k 介质》笔记