物理气相沉积是一种工业制造上的工艺，属于镀膜技术的一种，是主要利用物理方式来加热或激发出材料过程来沉积薄膜的技术，即真空镀膜 (蒸镀)，多用在切削工具与各种模具的表面处理，以及半导体装置的制作工艺上。 主要的物理气相沉积方法