溅镀

溅射镀膜是一种物理气相沉积技术，是指将固体材料通过高能粒子轰击而使其被溅射到基底表面，形成薄膜的过程。这些高能粒子可以是离子、中性原子、电子、光子等。

溅镀的主要方法

溅镀的优缺点