外延 概念 外延生长是指在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段。 单晶的生长 单晶生长有三类： 共度生长：在单晶衬底上生长的单晶薄膜具有和衬底一样的晶格常数和晶体结构。 非共度生长：在单晶衬底上生长的单晶薄膜具有和衬底不一样的晶格常数和晶体结构。 赝晶生长：生长出来的单晶的晶格常数和衬底不一样，但是晶格排列却是和衬底一样的。使得整个生长的薄膜被拉伸或者压缩。薄膜内部会具有大量的应力。 与 CVD 技术的对比 外延 对比 CVD 硅的气相外延工艺 附录 笔记来源