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薄膜制备技术
文件夹: UESTC/格院大三上课程/微纳工艺课程/薄膜制备技术
此文件夹下有14条笔记。
2025年2月22日
Deal-Grove 模型
2025年2月22日
EOT
2025年2月22日
ICP-RIE 对比 RIE
2025年2月22日
high-k 材料
2025年2月22日
单晶生长
2025年2月22日
外延 对比 CVD
2025年2月22日
外延生长
2025年2月22日
氧化（微纳工艺）
2025年2月22日
溅射的优缺点
2025年2月22日
硅的气相外延工艺
2025年2月22日
蒸发
2025年2月22日
薄膜
2025年2月22日
铝互联线存在的问题
2025年2月22日
集成电路对金属化的主要要求