湿法刻蚀面临的问题

1. 均匀性；
2. 速率：快到足够实用，又慢到可以控制；
3. 选择比：腐蚀目标材料相对于蒙版腐蚀速率的比率（应大）；
4. 各向异性：腐蚀速率的方向依赖性；
5. 副产品：挥发性或易于去除，并且安全。