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湿法刻蚀的流程
湿法刻蚀的流程
2025年2月22日
1分钟阅读
腐蚀过程包括三个步骤:
反应物质的传输(通过边界层)到待腐蚀的表面。
反应物质和待腐蚀薄膜在表面的反应。
反应产物通过表面边界层从表面传输。
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湿法蚀刻