掩膜侵蚀

对于各向同性和各向异性蚀刻剖面，掩膜侵蚀都可能是一个问题。

在各向同性的蚀刻中，矩形掩膜的蚀刻量 在纵向和横向上都是一样的，从而导致下蚀的量增加。

[! question] 为什么会导致下蚀的量增加？ 下蚀的量和掩膜在横向上的消耗有关。横向上消耗越多，暴露出来的材料的侧壁越多。

在完全各向异性的蚀刻过程中，只要掩膜未被完全消耗，掩膜侵蚀就不是一个值得关注的问题。但是，掩膜形状通常不是完美的矩形，而是圆角或斜边。即使是完全各向异性的蚀刻，也会造成下蚀。