干法刻蚀-物理轰击

干法刻蚀中的物理轰击一般使用离子或动量转移的方式

• 高损伤，快速刻蚀速率，通常为
• 具有各向异性，非选择性溅射腐蚀
• 更广泛地用于小特征尺寸