刻蚀面临的问题

1.  均匀性；
2.  速率：快到足够实用，又慢到可以控制；
3.  选择比：腐蚀目标材料相对于蒙版腐蚀速率的比率（应大）；
4.  各向异性：腐蚀速率的方向依赖性；
5.  副产品：挥发性或易于去除，并且安全。