在大正方形的中心位置，抗蚀剂会受到来自各个方向的反向散射剂量和正向给定剂量 (即您在 belle 中指定的剂量)。对于任意一点，其实际剂量是其反向散射剂量和正向给定剂量之和。
然而，我们希望在这个点上的实际剂量等于基准剂量，这样抗蚀剂就能够恰好显影出来。因此，我们可以得到如下方程式：
在大正方形的中心位置，抗蚀剂会受到来自各个方向的反向散射剂量和正向给定剂量 (即您在 belle 中指定的剂量)。对于任意一点，其实际剂量是其反向散射剂量和正向给定剂量之和。
然而，我们希望在这个点上的实际剂量等于基准剂量，这样抗蚀剂就能够恰好显影出来。因此，我们可以得到如下方程式：