在写入图案时，电子束只能在固定的位置写入像素，这个位置的间距就是电子束步进大小。写入的线宽无法小于电子束步进大小。 电子束步进大小计算公式 BSS 为电子束步进大小；Res 为分辨率；VRU 为可变分辨率单位。指向原始笔记的链接