电子束对准

电子束对准技术需要使用高分辨率的光学显微镜或电子显微镜来进行对准和校正。通过对芯片表面和电子束进行准确定位，可以确保在芯片上创建的图案是精确的，并且不会产生偏移或失真。

电子束对准技术在半导体制造中非常重要，因为它可以帮助提高芯片的制造质量和可靠性。