通常，抗蚀剂的厚度和图案的高宽比有关，可以首先估算一个3:1的高宽比。 在选择光刻胶厚度时需要考虑以下因素：后续的蚀刻或金属化工艺、图案分辨率和图案密度。因为厚度过薄可能会导致蚀刻时无法完全蚀刻掉底层材料，而厚度过厚则可能会影响图案分辨率和密度。