可变分辨率单位

可变分辨率单位是指在电子束曝光系统中，用于控制电子束在不同位置上的聚焦程度的单位。

VRU 的大小与电子束的聚焦程度成反比，这种方式可以实现对于曝光区域内不同位置的高精度控制。

VRU的大小通常与电子束曝光系统的分辨率有关，较高分辨率的系统通常需要更小的VRU。