电子束写入机的柱体部分，包括发射器、透镜、枪定线圈、磁透镜、光栅控制器等
Emitter Suppressor - 热阴极发射器
Extractor Lens C1 - 提取透镜C1
electrostatic Lens C1 - 静电透镜C1
Anode - 阳极
Gun alignment Coils - 枪定线圈
Tilt and Shift control - 倾斜移位控制
magnetic Lens C2 - 磁透镜C2
Beam Blanker Unit - 光栅控制器
Blanking aperture - 开关孔
Upper Subfield - 上半场
Upper main - 上主体
Lower Subfield - 下半场
Lower main - 下主体
magnetic Lens C3 - 磁透镜C3
Fast focus and Stigmator coils - 快速聚焦和斜差透镜
Substrate - 衬底