优点
- SEM 的应用范围广泛，可能是研究固体材料的其他仪器无法比拟的。
- SEM在需要对固体材料进行表征的所有领域都是至关重要的。
- 大多数SEM相对容易操作，具有用户友好的“直观”界面。
- 许多应用只需要进行最少的样品准备。
- 对于许多应用，数据采集速度很快。
- 现代 SEM 生成的数据以数字格式呈现，具有高度的可移植性。
缺点
- 样品必须为固体，并且必须适合显微镜的仪室。
- 水平尺寸的最大值通常在10厘米左右，垂直尺寸通常更加有限，很少超过40毫米。
- 对于大多数仪器，样品必须在10-5至10-6托的真空中稳定。
- 易在低压下气化的样品（如含有烃的岩石、煤、有机物或肿胀粘土的“湿”样品以及易在低压下破碎的样品）不适合在常规扫描电子显微镜中检查。