极紫外光刻技术

极紫外光刻是一种利用极紫外波长范围的光刻技术。极紫外光刻是一种重要的微纳制造技术，用于在硅片上制造微小的芯片元件，例如处理器和内存芯片。与其他光刻技术相比，极紫外光刻具有更小的加工尺寸和更高的制造精度，因此被广泛应用于半导体工业的高端领域。