SEM、TEM、STM、AFM 的比较

	SEM	TEM	STM	AFM
横向分辨率	5 nm	0.2 nm	0.1 nm	30 nm
纵向分辨率	无	无	0.01 nm	0.1 nm
放大类型	2D	2D	3D	3D
样品准备	无	困难（FIB，MIlling）	超净表面	干净表面
环境要求	真空	真空	真空	真空、空气、液体
横截面图像	有	有	无	无