优点 易于制备观察用样品 可用于真空、空气和液体。 样本量测量准确 它具有 3D 成像 它可用于研究生命和非生命元素 它可用于量化表面粗糙度 它用于动态环境。 缺点 它一次只能扫描大约 150 x 150 nm 的单个纳米级图像。 它们的扫描时间较短，可能会导致样品发生热漂移。 尖端和样品在检测过程中可能会损坏。 它的放大倍率和垂直范围有限。