微纳工艺中的超净环境指的是一种非常高级的洁净室环境，用于控制在制造过程中可能存在的微小杂质、颗粒和细菌等污染物。
污染物的影响
污染会对电路造成巨大影响
- 蚀刻被污染的基底会产生不平整的凸起。
- 污染往往比预制结构大得多
- 污染会破坏电路结构
因此纳米设备制造或纳米技术只有在制造环境清洁的情况下才能发挥作用。纳米制造是在所谓的“洁净室”或“纳米制造设施”中完成的。
为了保证零缺陷，纳米加工过程中需要避免以下两类影响：
- 颗粒——引起成品率和可靠性问题；
- 金属离子——引起电性能和可靠性问题。
典型污染源
- 普通纸
- 人的皮肤和头发
- 划线基质
- 泵油
- 手上的油脂