微纳制造涉及使用高纯度气体，包括氮气气体。
氮气在微纳加工中使用的原因有很多，其中一些包括：
- 清洗和干燥：氮气是一种常用的清洗和干燥气体，用于清洗和除去微纳加工过程中的残留物和湿气，以确保制造出高质量的产品。
- 氧化防护：氮气也可用于氧化防护，通过在反应室中排放氮气，可以有效地减少氧的存在，从而减少材料的氧化和腐蚀。
- 惰性气体：氮气是一种惰性气体，它可以减少微纳加工过程中的化学反应，从而减少不必要的化学变化，提高加工的精度和一致性。
- 温度控制：在一些微纳加工应用中，氮气可以用于温度控制，通过冷却或加热氮气，可以控制加工环境的温度，以便在最适宜的温度下进行微纳加工。
氮气的沸点很低，因此，液氮和氮气是常用的高纯度氮气源。同时，为了确保高纯度的氮气供应，通常会采用高压气瓶或特殊的气体净化系统。