电子束抗蚀剂

电子束抗蚀剂是一类对电子能量敏感的有机聚合物。类似于光刻胶，电子束抗蚀剂会因为吸收电子能量而发生交链或断链。电子束抗蚀剂同样分为正性和负性、传统型与化学放大型。电子束抗蚀剂具有和光刻胶一样的特性。

正性抗蚀剂：PMMA

负性抗蚀剂：HSQ resist