热板，也称作导热板。 这种方法需要将硅片放在一个非常平坦的加热板上，并将加热板加热至适当的温度。硅片表面的热量开始自下而上升温，并逐渐蒸发光刻胶溶剂，最终形成光刻胶薄膜。这种方法速度快，适合于大批量生产，但需要保证硅片表面非常平整以确保加热均匀性。