烘箱

烘箱，也称作对流炉。

光刻胶表面的溶剂首先被蒸发，这可以导致光刻胶形成不渗透的皮，将剩余的溶剂困在内部。因此一般不用烘箱来对厚胶进行前烘。

烘箱必须缓慢加热，以避免溶剂爆裂效应。