接近接触：预设一个间隔，在掩膜和衬底之间编程。可以减少掩膜的损坏，但分辨率也会降低。分辨率为2.5微米。 软接触：使用轻微的机械压力在掩膜和衬底之间产生接触。分辨率为2微米。 硬接触：与软接触类似，但在衬底上施加了额外的力。分辨率得到了改善，为1微米。 真空接触：通过排空间隙优化掩膜和衬底之间的接触。这种模式具有最高的分辨率水平，为0.7微米。