旋涂方法

使用真空泵将晶圆夹在吸盘上，光刻胶覆盖晶圆表面 2/3 的面积

通常先缓慢旋转 (500 转/分)，使光刻胶均匀分布

然后快速旋转 (3000 - 5000 转/分)，速度决定厚度和均匀度。