接触式光刻机指的是一类掩膜板直接与光刻胶接触的光刻机。 优缺点 优点：结构简单，成本低，光的衍射效应小，曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单。 缺点： 光刻胶污染掩膜板； 掩膜板的磨损，寿命很低（只能使用 5～25 次）； 工业界已基本淘汰，但是实验室经常使用。