投影式光刻机

投影式曝光是在掩膜板与光刻胶之间使用透镜聚集光实现曝光。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的 4 倍制作。

优缺点

• 优点：
  • 提高了分辨率；
  • 掩膜板的制作更加容易；
  • 掩膜板上的缺陷影响减小。
• 缺点：刻机成本非常高，维护成本也很高。

投影式光刻机的分类

1. 扫描投影曝光（Scanning Project Printing）。掩膜板 1：1，全尺寸；
2. 步进重复投影曝光（Stepper）。掩膜板缩小比例（4：1），曝光区域（ Exposure Field）22x22mm（一次曝光所能覆盖的区域）。不同光刻机，不同精度有不同的曝光区域
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