前烘的好处

前烘能使得光刻胶溶剂的部分蒸发

• 进一步干燥固化光刻胶
• 减少暗腐蚀
• 改善附着力
• 改善均匀性
• 改善蚀刻电阻
• 改善线宽控制
• 优化光刻胶的光吸收特性
• 使光刻胶致密