湿法腐蚀的掩模

湿法腐蚀的掩模和光刻的掩模有类似的概念，但是不是同一个东西。湿法腐蚀的掩模是光刻之后的光刻胶形成的图案。

湿法腐蚀一般使用两种掩模：

1. 光刻胶（软掩模）
2. 或者 (硬掩模)

混合使用的时候会比只使用软掩模要更可靠。