各向同性的湿法腐蚀

适合于大特征，侧壁的斜率不重要或者削弱掩模的时候使用。

通常会有较大的关键尺寸损失，一般不适合纳米加工。

优点在于快速、简单、廉价

一般应用在硅、二氧化硅、氮化硅、铝、铬、砷化镓、金。