刻蚀选择比

指同一刻蚀条件下，一种材料与另一种材料相对刻蚀速率快了多少。高选择比的刻蚀工艺不刻蚀下面一层材料。

刻蚀选择比计算公式

是基底的刻蚀率； 是光刻胶的刻蚀率。

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