LOR(Lift-off resist)是基于聚二甲基戊二酰亚胺(PMGI)而非光敏聚合物的一种材料,因此 LOR 不是一种成像光刻胶。LOR 常常和正性光刻胶结合使用,用于制造凹槽状的剖面以便于去除导电材料。这种组合通常被称为“二层光刻胶结构”,用于创造凹槽状的剖面。
LOR(Lift-off resist)是基于聚二甲基戊二酰亚胺(PMGI)而非光敏聚合物的一种材料,因此 LOR 不是一种成像光刻胶。LOR 常常和正性光刻胶结合使用,用于制造凹槽状的剖面以便于去除导电材料。这种组合通常被称为“二层光刻胶结构”,用于创造凹槽状的剖面。