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光刻和掩模设计
文件夹: UESTC/格院大三上课程/微纳工艺课程/光刻和掩模设计
此文件夹下有10条笔记。
2025年2月22日
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涂底胶
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电子束曝光掩模
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纳米压印掩模
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薄膜电阻计算公式
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表面处理
2025年2月22日
高纵横比的光刻胶图案