蒸发层的覆盖度问题：蒸发层的覆盖度较差，这是由于蒸发物质的定向性（影子效应）所致。 通过加热（导致表面扩散）和旋转基板（减小影子效应）可以解决覆盖度问题，但对于高纵横比（AR）无法形成连续膜。因此，我们需要一种更少定向的金属化方法：使用更高压力。