high-k 材料

定义

k指的是介电常数，衡量材料储存电荷能力。high-k材料是相对于SiO2而言，只要介电常数大于SiO2的介电常数3.9，一般都称为high-k材料。

制备

制备超薄 high-k 材料的主要手段是 ALD。