铝互联线存在的问题

铝的电迁移

当直流电流流过金属薄膜时，导电电子与金属离子将发生动量交换，使金属离子沿电子流的方向迁移。

如此会在阳极端堆积形成金属小丘或晶须，造成电极间短路；在阴极端形成空洞，导致电极开路。

电流密度大于 A/cm，温度高于 150°C 时，Al 的电迁移现象比较严重.

高 RC 延迟

附录

笔记来源