终点检测

知晓什么时候停止干蚀有两种方式：计时和终点检测。

计时的时候，需校准刻蚀速率在 nm/min，然后简单地使用时钟。通常的目标是过度刻蚀一点。

终点检测在不同的装置中有不同的实现方式。在 JWNC 中，我们使用一种基于光学的方法——反射计 (reflectometer)。它可以测量来自表面的激光反射。当到达材料的边界时，反射有一个明显的变化。这可以通过建模来进行识别。